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三星研發“智能傳感器系統”,用于提高半導體良率和產能

發布時間:2023-12-26 09:39:47來源:IT之家

  根據韓媒 ETNews 報道,三星電子公司正在開發“智能傳感器系統”,用于控制和管理半導體工藝。

圖源:三星/侵刪

  提高半導體良率的關鍵點之一是,精確控制半導體生產過程中等離子體均勻性和密度,而“智能傳感器系統”用于測量晶圓等離子均勻性,準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能,有望提高半導體良率和產能。

  三星現有的晶圓智能傳感器大部分采購自美國等國外廠商,耗資數千萬韓元。而近期對提高產量的需求不斷飆升,倒逼三星轉向自研,降低對外國傳感器的依賴程度。

  據了解,三星電子正在開發的智能傳感器是超小型的,不會對現有設備空間產生重大影響,這意味著可以在提高空間利用率的同時提高產能。

  據報道,三星電子計劃逐步擴大智能傳感器的開發和應用范圍,其目的不僅限于等離子體,而是開發可用于各種半導體工藝的 SMART 傳感器和系統。

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